发明名称 剥离剂组合物
摘要 本发明提供一种剥离剂组合物,其含有1,3–丙二胺(a)、1–羟基乙叉–1,1–二膦酸(b)及水,成分(a)之含量为0.2~30重量%,成分(b)之含量为0.05~10重量%,水之含量为60~99.75重量%,于20℃时之该组合物之pH值为9~13;以及一种剥离剂组合物,其含有有机胺(A)、有机膦酸(B)、直链糖醇(C)及水,成分(A)之含量为0.2~30重量%,成分(B)之含量为0.05~10重量%,成分(C)之含量为0.1~10重量%,水之含量为50~99.65重量%,于20℃时之该组合物之pH值为9~13。
申请公布号 TW200705128 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW095120497 申请日期 2006.06.09
申请人 花王股份有限公司 发明人 宫本定治;佐佐木靖
分类号 G03F7/42(2006.01);H01L21/304(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 G03F7/42(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本