电浆处理装置,隙缝天线及电浆处理方法

摘要

本发明系提供一种藉由液体的冷媒使电介质冷却的电浆处理装置、隙缝天线及电浆处理方法。该微波电浆处理装置微波电浆处理装置100系由：处理容器10、导波管22、隙缝天线23、电介质24、第1冷却部60及第2冷却部80所构成。第1冷却部60系藉由于设置在缝隙天线23的流路61使液体的冷媒流动，而使电介质24冷却。又，第2冷却部80系藉由从设置于导波管22的气体入口使气体流动至气体出口，而使电介质24冷却。如此，一边使电介质24冷却，一边经由导波管22、隙缝天线23，藉由透过电介质24的微波使处理气体电浆化，来电浆处理基板W。结果，可防止于电浆处理中，于电介质24产生裂痕之问题。