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发明名称
新颖有机底部抗反射聚合物组合物
摘要
本发明系关于底部抗反射涂层组合物,用于制造此等组合物之聚合物,以及在影像处理中藉由其在反射基板与光阻剂涂层之间形成薄层之用途。
申请公布号
TW200704660
申请公布日期
2007.02.01
申请号
TW095112902
申请日期
2006.04.11
申请人
AZ电子材料股份有限公司
发明人
姚晖蓉;叔菊S 丁李
分类号
C08G18/06(2006.01);G03F7/11(2006.01);G03F7/09(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
C08G18/06(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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