摘要 |
本发明之目的在于提供一种电容层形成材料,其系可使电容电路之漏电流小者,该电容电路包括:介电层,其系使用溶胶–凝胶法、MOCVD法、溅镀蒸镀法之任一形成者。为达成该目的,采用一种电容层形成材料等,其系于在用于形成上部电极之第1导电层与用于形成下部电极之第2导电层之间包括介电层者,其特征在于:该介电层,系以溶胶–凝胶法、MOCVD法、溅镀蒸镀法之任一形成之氧化物介电膜,于构成该氧化物介电膜之粒子之间含浸树脂成分。又,作为关于本案发明之电容层形成材料之制造方法,采用一种制造方法,其特征在于:于下部电极之构成材料之表面,以溶胶–凝胶法、MOCVD法、溅镀蒸镀法之任一形成氧化物介电膜,于该氧化物介电膜之表面,涂工树脂清漆使之含浸,使树脂乾燥,使树脂硬化形成介电层,其后,于该介电层上设上部电极构成层。 |