具有可侦测液体耗尽之能力的衬垫式液体储存及配送系统

摘要

一种用来储存及配送化学试剂及组成物，例如，用于制造微电子装置产品之高纯度液体试剂及化学机械抛光组成物之流体供应系统，该系统具有当所盛装的液体于配送操作期间处于耗尽或趋近于耗尽时，可侦测耗尽情况或接近耗尽情况之能力。采用耗尽侦测配置之流体输送系统，包括压力转换器来监视于供应包装与伺服液压配送帮浦间之所配送的物料，或基于周期性时间表，监测被补充的配送器中之配送器室补充次数，俾让物料从该配送器流至利用该所配送的物料的下游工具。