发明名称 形成铸模用组成物
摘要 本发明系揭示,去除部分设置于铸模表面上之薄膜,再去除铸模而制造奈米构造体之方法用的形成铸模用组成物,其中含有具有亲水性基之分子量500以上的有机化合物。
申请公布号 TW200704583 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW095114129 申请日期 2006.04.20
申请人 东京应化工业股份有限公司;独立行政法人理化学研究所 发明人 緖方寿幸;羽田英夫;藤川茂纪;国武丰喜
分类号 B82B3/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 B82B3/00(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本