| 主权项 |
1.一种奈米管之制造方法,包括下列步骤: A.铝片表面处理 清洁铝片表面; B.在铝片两侧表面预成凹槽 在铝片两侧表面上预先设计好的位置形成凹槽,铝 片表面上之每一凹槽均与铝片另一表面之对应凹 槽相对齐; C.阳极氧化处理; 将上述铝片置于电解液中进行阳极氧化处理,使金 属铝片之凹槽加深,且金属铝片在其两侧表面依上 述凹槽位置形成具有孔洞之多孔性氧化铝膜片; D.除去铝片上之氧化铝膜片 以化学药剂将铝片表面之氧化铝除去,余留具有较 深凹槽之铝片; E.重复C.D步骤N次; F.第N+1次阳极氧化处理 金属铝片在其两侧表面形成多孔性氧化铝膜片,该 膜片依前述凹槽位置而布列有规则性之奈米孔洞; G.贯通氧化铝膜片 利用化学药剂将多孔性氧化铝膜片中尚未完全相 通之奈米孔洞予以贯通; H.翻制板模 以可塑性材料在氧化铝膜片上翻置板模,使板模具 有复数奈米柱; I.成型奈米管 沉积奈米管材料于上述板模之奈米柱上; J.除去板模 将板模除去,余留奈米管。 2.如申请专利范围第1项所述奈米管之制造方法,其 中H步骤中之可塑性材料系为PDMS。 3.如申请专利范围第1项所述奈米管之制造方法,其 中I步骤系以蒸镀方式将金属材料沉积于奈米柱上 。 4.如申请专利范围第1项所述奈米管之制造方法,其 中J步骤系先去除板模之底板与奈米管间之相连部 位,最后将位于奈米管内之残余板模除去。 图式简单说明: 第一图系本发明之流程图。 第二图系本发明之铝片凹槽成型示意图。 第三图系本发明之阳极氧化处理示意图。 第四图系本发明之铝片经多次阳极氧化处理与除 去氧化铝膜片后之示意图。 第五图系本发明之铝片经最后一次阳极氧化处理 后之氧化铝模片示意图。 第六图系本发明之氧化铝模片之孔洞贯穿示意图 。 第七图系本发明以PDMS材料胶注于氧化铝模片之示 意图。 第八图系本发明之PDMS材料所制成板模之示意图。 第九图系本发明之奈米管成型于板模上之示意图 。 第十图系本发明之板模去除底板之示意图。 第十一图系本发明之奈米管成品示意图。 |
