图案检查方法及装置

摘要

本发明的课题是针对于即使在基板上形成具有如黏接剂层的微小凹凸的层，也不会误认识地进行依透射光的。本发明用以解决手段为TAB带5是从送出卷轴11送出，而在液体涂布部2，涂布有水酒精等的液体后被搬送至检查部1。在检查部1，照明光从透射照明手段1a照射在TAB带5，使得透过成为TAB带5的检查对象的图案的光线输入在显像手段1b，形成于TAB带5的图案进行摄影。藉由显像元件1b所摄影的图案是被送至控制部中而被画像处理，而与检查用光罩图案相比较来判定良否。在液体涂布于TAB带5的黏接剂层的状态下图案被摄影之故，因而可得到依漫反射的没有污点或不均的画像。

主权项

1.一种图案检查装置,属于藉由摄影元件摄影形成 有配线等图案的基板,并自动地进行检查的图案检 查装置,其特征为具备: 将液体涂布于上述基板表面的涂布手段; 摄影涂布有上述液体的基板的摄影手段; 针对于上述基板从与设有图案检查装置的这侧相 反侧照明的照明手段;以及 比较藉由摄影手段所摄影的基板的图案,及事先记 忆的基准图案而进行检查的控制部。 2.如申请专利范围第1项所述的图案检查装置,其中 ,涂布于上述基板表面的液体的折射率,是比基板 表面的树脂的折射率还小,而比空气的折射率还大 。 3.如申请专利范围第2项所述的图案检查装置,其中 ,上述液体是水或酒精。 4.一种图案检查方法,属于藉由摄影元件摄影形成 有配线等图案的基板,并自动地进行检查的图案检 查方法,其特征为具有: 将液体涂布于基板表面的第一工程; 藉由透射上述基板的光线进行照明,并摄影上述配 线等图案的第二工程;以及 将上述摄影的图案,与事先所记忆的基准图案相比 较,进行检查的第三工程。 图式简单说明: 第1图是表示本发明的图案检查装置的构成例的图 式。 第2图是表示在基板未涂布液体时与涂布液体时的 基板的凹凸部分的光线的漫反射情形的图式。 第3图是表示液体涂布部的其他构成例的图式。 第4图是表示如习知地未涂布液体而以显像手段显 像TAB带时的亮度分布特性的图式。 第5图是表示以显像手段显像涂布液体的TAB带时的 亮度分布特性的图式。 第6图是表示形成于成为检查对象的TAB带上的检查 图案的一部分的图式。 第7(a)图至第7(c)图是表示TAB带的一例的图式。 第8图是表示形成有图案的TAB带的例子的图式。 第9图是表示蚀刻铜箔等金属箔而形成图案时,所 形成的图案的断面的图式。 第10(a)图及第10(b)图是表示说明作为照明光使用反 射光时看漏图案的不良的图式。