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发明名称 Verfahren zur Herstellung ferroelektrischer Speichereinrichtungen
摘要
申请公布号 DE19946999(B4) 申请公布日期 2007.02.01
申请号 DE19991046999 申请日期 1999.09.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD 发明人 SUN, HO JUNG;KWEON, SOON YONG;YEOM, SEUNG JIN
分类号 H01L21/8239;H01L21/8247;G11C11/22;H01L21/02;H01L21/768;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
主权项
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