Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung

摘要

Die Erfindung betrifft mikromechanische optische Elemente mit einer reflektierenden Fläche, die in bekannter Form elektrostatisch oder elektromagnetisch ausgelenkt und für viele Applikationen eingesetzt werden können. Aufgabe der Erfindung ist es, solche Elemente kostengünstig und mit verbessertem dynamischen Deformationsverhalten zur Verfügung zu stellen. Die erfindungsgemäßen Elemente mit einer reflektierenden Fläche werden dabei mit Federelementen gehalten, wobei das auslenkbare Element an sich gegenüberliegenden Seiten mit jeweils mindestens zwei voneinander unabhängigen Federelementen gehalten ist.