| 发明名称 |
Verfahren zur Strukturierung einer Chalkogenid-Schicht, insbesondere in einem Verfahren zur Herstellung von Phasenwechsel-Speicherzellen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60310528(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.01 |
| 申请号 |
DE20036010528 |
申请日期 |
2003.05.07 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA;OVONYX INC. |
发明人 |
SPANDRE, ALESSANDRO |
| 分类号 |
H01L45/00;C23F4/00;H01L21/467 |
主分类号 |
H01L45/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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