Halbleitersubstrat, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verfahren zum Herstellen eines Schaltungsmoduls

摘要

Vorgeschlagen werden ein Halbleitersubstrat (1) und ein Verfahren zu dessen Herstellung, bei welchen ein Kontaktbereich (30) und ein entsprechendes Kontaktmaterial (30') des Halbleitersubstrats (1) bereichsweise oder vollständig mit einem Schutz (50) gegen Oxidation ausgebildet sind bzw. werden.