INFRAROT-DURCHSICHTIGES DECKELEMENT FÜR EINEN THERMISCHEN REAKTOR,申请号DE19996034494-传众专利搜索

发明名称	INFRAROT-DURCHSICHTIGES DECKELEMENT FÜR EINEN THERMISCHEN REAKTOR
摘要
申请公布号	DE69934494(D1)	申请公布日期	2007.02.01
申请号	DE19996034494	申请日期	1999.07.21
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	ANDERSON, ROGER N.
分类号	H01L21/00;H01L21/302;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/3065	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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