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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips
摘要
申请公布号 DE112004002162(T5) 申请公布日期 2007.02.01
申请号 DE200411002162 申请日期 2004.12.02
申请人 SEKISUI CHEMICAL CO. LTD. 发明人 SUGITA, DAIHEI;FUKUOKA, MASATERU;HATAI, MUNEHIRO;HAYASHI, SATOSHI;SHIMOMURA, KAZUHIRO;KITAJIMA, YOSHIKAZU;OYAMA, YASUHIKO
分类号 H01L21/301;H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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