发明名称 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ С ПЛЕНКОЙ ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ
摘要
申请公布号 RU2005124203(A) 申请公布日期 2007.01.27
申请号 RU20050124203 申请日期 2005.07.20
申请人 ФОНД ПОДДЕРЖКИ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ (RU);ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ "СОЗВЕЗДИЕ" (ООО "УК "СОЗВЕЗДИЕ") (RU) 发明人 Гордеев Сергей Константинович (RU);Корчагина Светлана Борисовна (RU);Кукушкин Сергей Арсеньевич (RU);Осипов Андрей Викторович (RU)
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址