发明名称 Unification Type Cleaning and Etch/ Strip Apparatus
摘要
申请公布号 KR100675316(B1) 申请公布日期 2007.01.26
申请号 KR19990060691 申请日期 1999.12.22
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;H01L21/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址