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发明名称
摘要
申请公布号 JP2007501526(A) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 JP20060522694 申请日期 2004.08.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/84;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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