发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
摘要
申请公布号 DE102005010821(B4) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE20051010821 申请日期 2005.03.07
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET BERLIN 发明人 STRITTMATTER, ANDRE;REISMANN, LARS;BIMBERG, DIETER
分类号 G02B6/00;H01L21/338;H01L31/105;H01L33/00;H01L33/20;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/40 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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