发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Verdrahtung in einem Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE4329260(B4) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE19934329260 申请日期 1993.08.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 PARK, CHANG-SOO
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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