METHOD AND DEVICE FOR MULTI-CATHODE-PVD-COATING AND SUBSTRATE HAVING PVD-COATING

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Mehrkathoden-PVD-Beschichtungsanlage, wobei ein Teil der Kathoden nach der magnetfeldunterstützten Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung und der Rest nach der magnetfeldunterstützten Kathodenzerstäubung mit Gleichstrom betrieben wird. Während der ionenunterstützten in vacuo Substratvorbehandlung wird alleine die magnetfeldunterstützte Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung als Quelle mehrfach ionisierter Metall-Ionen benutzt, während bei der Beschichtung grundsätzlich beide Kathodenzerstäubungstypen simultan zum Einsatz gebracht werden und beide Kathodentypen mit unterschiedlichen Materialien belegt werden.