| 发明名称 |
Device and method for regenerating an electroless metal plating bath |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003253413(B8) |
申请公布日期 |
2007.01.25 |
| 申请号 |
AU20030253413 |
申请日期 |
2003.08.14 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
JENS HEYDECKE;MASANORI MURANUSHI |
| 分类号 |
C23C18/31;B01D61/44;B01D61/52;C02F1/42;C02F1/469;C23C18/16 |
主分类号 |
C23C18/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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