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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Gasphasenbeschichtung
摘要
申请公布号 DE60310291(D1) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE20036010291 申请日期 2003.04.14
申请人 ASM JAPAN K.K. 发明人 SHIMIZU, AKIRA;FUKUDA, HIDEAKI;KAWANO, BAIEI;SATO, KAZUO
分类号 C23C16/458;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/3065 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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