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发明名称
PLASMAUNTERSTÜTZTE FILMABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号
DE60304745(T2)
申请公布日期
2007.01.25
申请号
DE20036004745T
申请日期
2003.12.18
申请人
CARDINAL CG CO.
发明人
HARTIG, KLAUS
分类号
C23C16/44;C23C16/503;C23C16/509;H01J37/34
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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