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发明名称 VERFAHREN ZUR NITRIDIERUNG DER GATTER-OXYDSCHICHT VON EINEM HALBLEITERBAUELEMENT
摘要
申请公布号 DE69934362(D1) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE19996034362 申请日期 1999.02.15
申请人 FRANCE TELECOM;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 BENSAHEL, DANIEL;CAMPIDELLI, YVES;MARTIN, FRANCOIS;HERNANDEZ, CAROLINE
分类号 H01L21/28;H01L29/78;H01L21/318;H01L29/51 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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