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发明名称 Beschichtungsanlage mit einer Messvorrichtung für die Messung von optischen Eigenschaften von beschichteten Substraten
摘要
申请公布号 DE502004002296(D1) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE200450002296T 申请日期 2004.05.22
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 LOTZ, HANS-GEORG;SAUER, PETER;HEIN, STEFAN;SKUK, PETER
分类号 G01N21/47;G01N21/86;C23C14/54;C23C14/56;G01N21/00;G01N21/55;G01N21/84 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
主权项
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