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发明名称 Verfahren zur Bestimmung einer Partikelkonzentration in der Atmosphäre eines Reinraums oder einer Mini-Umgebung
摘要
申请公布号 DE60216769(D1) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE20026016769 申请日期 2002.10.11
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A. 发明人 MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号 G01N15/06;G01N1/22 主分类号 G01N15/06
代理机构 代理人
主权项
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