一种近场光学虚拟光探针选择性微加工方法及其系统

摘要

本发明为一种应用近场光学虚拟光探针进行多种材料选择性微加工方法及其系统。本发明提出应用纳米尺度的近场光学虚拟光探针对材料进行选择性微加工，并且据此设计了一套微加工系统。其由激光器发射的激光光束经滤波片、偏光器后入射到三角棱镜的一边，其折射光束在三角棱镜底面的入射角大于三棱镜的全反射角时发生全内反射，反射光束从另一边折射出三角棱镜后经光学延迟器和反射镜后又沿原路入射到三角棱镜的底面，形成虚拟光探针，将加工材料置于三角棱镜底面下的一定距离范围，便可以利用虚拟光探针对材料进行微加工，材料的微移调节通过微动载物台来实现。有效克服了因灰尘污染及探针与材料表面碰撞而造成损伤的不足，可提高微加工速度。

主权项

1.一种近场光学虚拟光探针选择性微加工方法，其特征在于：由激光器发射的激光光束经滤波片、偏光器后入射到三角棱镜的一边，且其折射光束在三角棱镜底面的入射角大于三棱镜的全反射角，反射光束从另一边折射出三角棱镜后经光学延迟器和反射镜后又沿原路入射到三角棱镜的底面，从而在该底面与空气的界面上产生隐失波场，经隐失波场干涉叠加而形成虚拟光探针，将加工材料置于三角棱镜底面下，即由隐失波场干涉形成的虚拟光探针，在有效作用距离150～500nm下利用虚拟光探针对材料进行微加工，通过微动载物台实现材料的微移调节。