对工件进行电化学处理的处理容器、反应器和方法

摘要

本发明提供一种用于对微电子工件的至少一个表面进行电化学处理的反应器。该反应器包括一个反应器头部，该头部包括工件支承装置，所述工件支承装置具有一个或多个与微电子工件电接触的电触点。所述反应器还包括一个处理容器，该处理容器具有多个倾斜地设置在主流体流动腔侧壁上的喷口，且所述喷口位于所述主流体流动腔在电化学处理过程中所正常包含的处理流体液面下方的所述主流体流动腔内的一个水平面处。在主流体流动腔中的不同高度处设有多个阳极，这些阳极距所处理的微电子工件的距离不同，在多个阳极和所处理的微电子工件之间没有中间扩散器。所述多个阳极中的一个或多个靠近所处理的工件。另外，所述多个阳极中的一个或多个可以是虚拟阳极。本发明还涉及主流体流动腔内的处于多个水平面位置上的阳极装置和使用该装置的方法。

主权项

1.一种用于对微电子工件进行电化学处理的处理容器，其包括：一个流体流动腔；多个设置在流体流动腔中的同心导电阳极，其中同心导电阳极通过其间的绝缘材料彼此分离；以及在一个同心导电阳极的至少一部分上延伸的电场屏罩。