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发明名称
摘要
申请公布号	JP3872952(B2)	申请公布日期	2007.01.24
申请号	JP20000328017	申请日期	2000.10.27
申请人		发明人
分类号	F27B5/04;H01L21/31;F27B5/16;F27D7/02;F27D7/06;H01L21/00	主分类号	F27B5/04
代理机构		代理人
主权项
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