发明名称 清洁圆盘形玻璃基片和磁盘的方法
摘要 一种清洁圆盘形玻璃基片的方法,该方法包括使所述圆盘形玻璃基片绕其中心旋转,并且其主表面处于垂直状态,以及使被超声波辐照过的清洁液沿所述旋转的玻璃基片的外缘表面流下。
申请公布号 CN1899710A 申请公布日期 2007.01.24
申请号 CN200610105939.X 申请日期 2006.07.18
申请人 旭硝子株式会社 发明人 宮原修;万波和夫;染谷邦之;丸山勉
分类号 B08B11/00(2006.01);B08B3/04(2006.01) 主分类号 B08B11/00(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 周承泽
主权项 1.一种清洁圆盘形玻璃基片的方法,该方法包括:使所述圆盘形玻璃基片绕其中心旋转,并且其主表面处于垂直状态,以及使被超声波辐照过的清洁液沿所述旋转的玻璃基片的外缘表面流下。
地址 日本东京