发明名称 N-Sulfonyloxyimide Compounds and Radiation Sensitive Resin Compositions Using the Same
摘要
申请公布号 KR100673500(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 KR20000066069 申请日期 2000.11.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/028;C07D207/46;C07D209/76;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人
主权项
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