| 发明名称 | 利用用于实时气体取样的等离子源的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明多个方面提供创新的方法和装置，用于对气体取样，激发取样的气体以发射射线，并根据发射的射线实时检测发射光谱的多个波带。可根据所检测的波带，调节用于激发取样气体的能量。可根据检测的波带，实时控制过程。可利用创新的界面，以显示检测的部分波带。一基准气体的已知流量可包含在基准气体的流量中，并确定未知流量气体的未知流量。 | ||
| 申请公布号 | CN1296685C | 申请公布日期 | 2007.01.24 |
| 申请号 | CN01821887.3 | 申请日期 | 2001.11.29 |
| 申请人 | 赖特温德公司 | 发明人 | 加里·鲍威尔;理查德·L·哈泽德 |
| 分类号 | G01J3/30(2006.01);G01J3/443(2006.01);G01N21/00(2006.01) | 主分类号 | G01J3/30(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 王志森;黄小临 |
| 主权项 | 1.一种用于得到在反应室中的过程数据的方法，包括：对在过程期间已通过反应室的反应室外部的气体取样；激励取样的气体，以发射射线；及利用多个检测器从发射射线中实时检测发射光谱的多个波带，该多个检测器能够响应足够窄的多个带宽以使多个检测器能够响应发射光谱中的单个峰值。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||