垂直腔面发射激光器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种垂直腔面发射激光器及其制造方法。本发明的所述垂直腔面发射激光器包括：一衬底、一第一反射器、一活性层、一第二反射器、一第一电极层和一第二电极层。所述第二反射器具有一第一孔径的第一限制层，和一有一第二孔径的第二限制层。所述第二孔径小于所述第一孔径。根据本发明，由于所述第二限制层以下列方式形成：将氧离子注入所述第二反射器并进行加热，以使得所述氧离子与所述第二反射器内的铝成分反应而形成氧化层，因而，所述第二限制层可用作一光学和电子限制层。因此，可精确且容易地实现所述第二限制层的宽度和厚度。

主权项

1.一种垂直腔面发射激光器，其包括：一衬底，其具有一第一表面和一第二表面；一第一反射器，其形成在所述衬底的所述第一表面上；一活性层，其形成在所述第一反射器上；一第二反射器，其形成在所述活性层上，所述第二反射器具有一第一限制层和一第二限制层，所述第一限制层具有一第一孔径，所述第二限制层具有一第二孔径，所述第二孔径小于所述第一孔径；一第一电极层，其形成在所述第二反射器上；和一第二电极层，其形成在所述衬底的所述第二表面上。