发明名称 表面声波装置
摘要 一种SAW装置,包括单晶压电基板(由例如LiTaO<SUB>3</SUB>或LiNbO<SUB>3</SUB>制成),和由主要包含Al的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极(IDT)。压电基板包含添加剂(例如,Fe、Mn、Cu、Ti),并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°(更理想的是,46°±0.3°)范围内的角度取向。IDT具有7%到11%的标准厚度h/λ(h:电极厚度,λ:IDT电极间距)。可表示出SAW装置的更合适的基板切割角度以改善其电学特性,该SAW装置使用含有添加剂的压电基板。
申请公布号 CN1901368A 申请公布日期 2007.01.24
申请号 CN200610107707.8 申请日期 2006.07.20
申请人 TDK株式会社 发明人 木原芳一;小山内胜则;广川行夫;苏武正树
分类号 H03H9/25(2006.01);H03H9/145(2006.01) 主分类号 H03H9/25(2006.01)
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 张敬强
主权项 1.一种表面声波装置,包括:单晶压电基板;和交叉指状电极,由主要包含Al的材料形成并位于所述压电基板的表面上;其中,所述压电基板包含添加剂,并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°范围内的角度取向;所述压电基板是钽酸锂或铌酸锂基板;以及所述添加剂包括铁、锰、铜和钛中的一种或多种。
地址 日本东京都