发明名称 |
表面声波装置 |
摘要 |
一种SAW装置,包括单晶压电基板(由例如LiTaO<SUB>3</SUB>或LiNbO<SUB>3</SUB>制成),和由主要包含Al的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极(IDT)。压电基板包含添加剂(例如,Fe、Mn、Cu、Ti),并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°(更理想的是,46°±0.3°)范围内的角度取向。IDT具有7%到11%的标准厚度h/λ(h:电极厚度,λ:IDT电极间距)。可表示出SAW装置的更合适的基板切割角度以改善其电学特性,该SAW装置使用含有添加剂的压电基板。 |
申请公布号 |
CN1901368A |
申请公布日期 |
2007.01.24 |
申请号 |
CN200610107707.8 |
申请日期 |
2006.07.20 |
申请人 |
TDK株式会社 |
发明人 |
木原芳一;小山内胜则;广川行夫;苏武正树 |
分类号 |
H03H9/25(2006.01);H03H9/145(2006.01) |
主分类号 |
H03H9/25(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张敬强 |
主权项 |
1.一种表面声波装置,包括:单晶压电基板;和交叉指状电极,由主要包含Al的材料形成并位于所述压电基板的表面上;其中,所述压电基板包含添加剂,并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°范围内的角度取向;所述压电基板是钽酸锂或铌酸锂基板;以及所述添加剂包括铁、锰、铜和钛中的一种或多种。 |
地址 |
日本东京都 |