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发明名称 Device for cleaning and inspecting reticles
摘要
申请公布号 EP1539386(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 EP20030771999 申请日期 2003.07.28
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 BLATTNER, JAKOB;FEDERICI, RUDY
分类号 B08B5/00;G03F1/00;G03F7/20 主分类号 B08B5/00
代理机构 代理人
主权项
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