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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT
摘要
申请公布号 EP1485946(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 EP20030743151 申请日期 2003.02.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KURITA, SHINICHI;BLONIGAN, WENDELL, T.;ANWAR, SUHAIL;KIYOTAKE, TOSHIO;NGUYEN, HUNG, T.
分类号 H01L21/00;B65G49/07;H01L21/205;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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