发明名称 |
Method for manufacturing capacitor elements on a semiconductor substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1073101(B1) |
申请公布日期 |
2007.01.24 |
申请号 |
EP19990830492 |
申请日期 |
1999.07.30 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
RAVESI, SEBASTIANO |
分类号 |
H01L21/02;H01L27/04;H01L21/768;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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