发明名称 Solution of inhibiting Copper erosion and CMP process using the solution
摘要
申请公布号 KR100672941(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 KR20040079543 申请日期 2004.10.06
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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