电压测量方法,电测试方法和装置,半导体器件制造方法和器件衬底制造方法

摘要

本发明提供了一种在互连点上不使用探针的简单的测试方法，以及采用这种测试方法的一种测试装置。一个测试衬底所拥有的原边线圈和一个OLED面板所拥有的副边线圈通过一个固定间隔被重叠在一起。对原边线圈输入一个交流信号，利用电磁感应在副边线圈上产生一个电动势。利用这一电动势来操作OLED面板所拥有的象素。通过一个固定间隔使一个象素电极和一个测试电极重叠在一起。通过监测在测试电极上产生的交流电压来检测故障点。另外还可以通过在改变测试电极位置的同时监测在测试电极上产生的交流电压而确认各个象素的工作状态。

主权项

1.一种测量电压的方法，包括：在第一线圈的两个端子之间施加第一交流电压；通过一个固定间隔将第一线圈和第二线圈重叠在一起；利用在第二线圈的两个端子之间产生的第二交流电压对一个象素的象素电极施加第三交流电压；通过一个固定间隔将象素电极和测试电极重叠在一起；并且根据在测试电极上产生的第四交流电压计算出施加到象素电极上的电压。