构建混合光波导的井形孔结构的方法和光波导

摘要

为了接入光波导光芯而形成一井形孔，通过一种工艺使得井形孔具有L形状。然后将聚合物填充进L形的井形孔中。通过控制井形孔每个部分的尺寸，来减少井形孔中气泡和切口的发生。

主权项

1、一种光波导的形成方法，包括：在基底形成下部包层；在所述下部包层上形成光芯；用金属籽晶层覆盖所述光芯；以上部包层材料覆盖所述金属籽晶层和所述光芯；在所述光芯上方形成穿过所述上部包层材料的孔，以没有露出全部所述籽晶层。