HOUSING COMPRISING STRUCTURE FOR MOUNTING OPTICAL ELEMENTS,申请号EP20050707566-传众专利搜索

发明名称	HOUSING COMPRISING STRUCTURE FOR MOUNTING OPTICAL ELEMENTS
摘要
申请公布号	EP1745317(A2)	申请公布日期	2007.01.24
申请号	EP20050707566	申请日期	2005.02.22
申请人	CARL ZEISS SMT AG;ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	KWAN, YIM-BUN, PATRICK;GEUPPERT, BERNHARD;KEMPER, NICO
分类号	G02B7/02;G03F7/20	主分类号	G02B7/02
代理机构		代理人
主权项
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