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发明名称
Process for sealing devices incorporating microstructures
摘要
申请公布号
EP1312580(B1)
申请公布日期
2007.01.24
申请号
EP20010830712
申请日期
2001.11.16
申请人
STMICROELECTRONICS S.R.L.
发明人
SASSOLINI, SIMONE;DEL SARTO, MARCO;FREZZA, GIOVANNI;BALDO, LORENZO
分类号
B81C1/00;B81B7/00
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
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