平板显示器制造装置

摘要

本发明公开了一种能够完成预定处理如真空时在衬片上沉积或者蚀刻的平板显示器制造装置。所述平板显示器制造装置具有一个置于平板显示器制造装置外部的销支承构件。销支承构件连接到多个抬升销以同时向上或者向下驱动所述抬升销，所述多个抬升销将一衬片从一下衬片抬升或者将该衬片放于下衬片上。因此，与常规的平板显示器制造装置相比，降低了平板显示器制造装置的内部容积，因此进行泵吸操作以对平板显示器制造装置内部施加高度真空的时间显著缩短。

主权项

1.一种平板显示器制造装置，包含：一个上电极、一个下电极，以及一个在衬片上进行一预定处理的衬片处理单元，所述上电极、下电极和衬片处理单元置于平板显示器制造装置中，其中所述平板显示器制造装置还包含：多个分别经形成在下电极的预定位置上的抬升销通孔插入的抬升销，所述抬升销通孔竖直贯穿下电极形成；销固定单元，在平板显示器制造装置内部并连接到抬升销下端，分别固定抬升销，所述销固定单元经平板显示器制造装置的下部插入；密封单元，所述密封单元具有与销固定单元对应上端相连的上端和与平板显示器制造装置下部的内表面相连的下端，从而密封单元可以分别地围绕销固定单元的预定部分，在竖直地移动所述销固定单元时，所述密封单元在竖直地膨胀和收缩的同时维持平板显示器制造装置内部的真空；一个销支承构件，该销支承构件设置在平板显示器制造装置的外部并在该平板显示器制造装置下方与销固定单元下端相连，用于支承和固定所述销固定单元；以及一驱动单元，与所述销支承构件相连，用于向上或向下驱动所述销支承构件。