发明名称 |
生产金钢石的装置和方法 |
摘要 |
一种在沉积室内生产金刚石的装置,包括:用于夹持金刚石并与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触的散热夹具;设置用来测量沿金刚石生长面的温度的非接触式温度测量装置;和用于接收来自上述非接触式温度测量装置的温度测量数据并控制生长面的温度使沿生长面的所有温度梯度小于20℃的总过程控制器。一种生产金刚石的方法,包含如下步骤:在夹具内安置金刚石使之与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触,测量金刚石生长面的温度并得出温度测量数据;根据上述温度测量数据控制生长面的温度;和在生长面上按微波等离子化学蒸气沉积法生长单晶金刚石,其中,金刚石生长速率大于1μm/h。 |
申请公布号 |
CN1296528C |
申请公布日期 |
2007.01.24 |
申请号 |
CN02826062.7 |
申请日期 |
2002.11.07 |
申请人 |
华盛顿卡内基研究所;UAB研究基金会 |
发明人 |
罗素·J·赫姆利;毛河光;颜志学;约格施·K·沃赫拉 |
分类号 |
C30B25/02(2006.01);C30B25/16(2006.01);C23C16/27(2006.01);C23C16/52(2006.01);C30B25/10(2006.01) |
主分类号 |
C30B25/02(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
郑修哲 |
主权项 |
1.一种在沉积室内生产金刚石的装置,该装置包括:一个用于夹持金刚石并与该金刚石的邻近于其生长面的一条边的侧面热接触的散热夹具;一个用于测量金刚石的跨过其生长面的温度的非接触式温度测量装置;和一个用于接收来自上述非接触式温度测量装置的温度测量数据并控制生长面的温度使跨过生长面的温度梯度低于20℃的总过程控制器。 |
地址 |
美国华盛顿 |