| 摘要 |
<p>Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens kann die Rauhigkeit einer HSG-Oberfläche weitgehend auf die Oberfläche einer Elektrode übertragen werden. Die Elektrode erhält somit eine mikrostrukturierte Oberfläche, deren Flächeninhalt um mehr als 25%, bevorzugt um mehr als 50% und insbesondere bevorzugt um mehr als 100%, gesteigert werden kann. Dabei wird eine HSG-Schicht dazu verwendet, um die Elektrodenoberfläche bzw. die Opferschicht lokal zu maskieren. Nachfolgende Strukturierungsverfahren, wie beispielsweise nasschemische und/oder plasmagestützte Ätzverfahren, Nitridierungs- bzw. Oxidationsprozesse, erlauben es - basierend auf Mikromaskierungseffekten - die Elektrodenoberfläche beträchtlich aufzurauhen und somit die Elektrodenoberfläche zu vergrößern.
</p> |
