激光加工方法及激光加工装置

摘要

提供一种可尽量减少在加工对象物的端部的激光的聚光点的偏离且可有效率地进行激光加工的激光加工方法。此激光加工方法具备：准备步骤，是将透镜保持于以聚光点对准加工对象物内部的规定的位置的方式设定的初期位置上；第一加工步骤(S11～S12)，以在初期位置上保持该透镜的状态照射加工用的第一激光，且使透镜与加工对象物沿着主面相对移动并在切断预定线的一端部形成改质区域；以及第二加工步骤(S13～S14)，在切断预定线的一端部形成改质区域之后解除将透镜保持在初期位置的状态，而在该解除之后，一边调整透镜与主面的间隔一边使透镜与加工对象物沿着主面相对移动而形成改质区域。

主权项

1.一种激光加工方法，其特征在于，是将第一激光以透镜聚光并使聚光点对准加工对象物的内部进行照射，沿着所述加工对象物的切断预定线在所述加工对象物的内部形成改质区域的激光加工方法，其具备：准备步骤，将所述透镜保持在以所述聚光点对准所述加工对象物内部的规定位置的方式设定的相对于所述加工对象物的主面的初期位置上；第一加工步骤，在将该透镜保持在所述初期位置的状态下照射所述第一激光，使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而在所述切断预定线的一端部形成改质区域；第二加工步骤，在所述切断预定线的一端部上形成改质区域后，解除将所述透镜保持在所述初期位置的状态，在该解除之后，一边调整所述透镜与所述主面的间隔一边使所述透镜与所述加工对象物沿着所述主面相对移动而形成改质区域。