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发明名称
WAFER PREPARATION APPARATUS
摘要
申请公布号
EP1269522(B1)
申请公布日期
2007.01.24
申请号
EP20010924530
申请日期
2001.03.29
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
JONES, OLIVER, DAVID;FROST, DAVID, T.;DEWIT, JOHN, G.
分类号
H01L21/00;H01L21/683;H01L21/304
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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