发明名称 WAFER PREPARATION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1269522(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 EP20010924530 申请日期 2001.03.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 JONES, OLIVER, DAVID;FROST, DAVID, T.;DEWIT, JOHN, G.
分类号 H01L21/00;H01L21/683;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址