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发明名称 DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100673003(B1) 申请公布日期 2007.01.24
申请号 KR20050047870 申请日期 2005.06.03
申请人 发明人
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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