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发明名称 PHOTORESIST COATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100672928(B1) 申请公布日期 2007.01.23
申请号 KR20000027073 申请日期 2000.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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