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发明名称 Method of processing a processed object using plasma
摘要
申请公布号 KR100672820(B1) 申请公布日期 2007.01.22
申请号 KR20040092380 申请日期 2004.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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